在超高真空下，氣體的成分常常是極不相同的。在氣體成分未明的情況下，超高真空計的讀數(shù)就無法確定其對應的壓力。如果電離真空計是以空氣或氮校準的，所測得的壓力值為與混合氣體離子流總和相對應的等效空氣壓力或等效氮壓力。

由于電離真空計對不同氣體的相對靈敏度相差很大，因此，電離真空計對混合氣體測得的等效氮壓力不是混合氣體的真實壓力，有時甚至會有數(shù)量級的誤差。為了測量真空中混合氣體組分和相應的分壓力值，必須進行分壓力測量，所用的儀器稱為分壓力真空計。由分壓力真空計測得的混合氣體各組分分壓力之和才是其全壓力，這就同時給出了真空的量與質(zhì)兩個方面。

分壓力真空計是專用的小型質(zhì)譜儀器——真空質(zhì)譜計。目前的分壓力真空計，大多數(shù)由于精度不夠高，只能用于分析氣體各種成分的存在并估計其大小，尚未能進行定量測定，這時稱為殘余氣體分析器。

作為分壓力真空計或殘余氣體分析器的真空質(zhì)譜計都屬于電離類型的，按原子離子或分子離子的質(zhì)荷比進行分析，分析有三個階段：

1、在離子源中用電子碰撞的辦法將氣體電離。

2、在質(zhì)量分析器中利用磁偏轉(zhuǎn)、共振、飛行時間不同等質(zhì)量分離技術，將離子按質(zhì)荷比不同進行分離。

3、檢測器(或離子收集極)接收分離的離子，將離子流放大，在顯示裝置上顯示出每一質(zhì)荷比的離子流強度。

真空質(zhì)譜計能掃描1～50u，以至l～300u的質(zhì)量范圍，并能分辨相隔1u的相鄰離子。